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產(chǎn)品資料

3D晶圓量測(cè)系統(tǒng)

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 3D晶圓量測(cè)系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào): 7980
產(chǎn)品展商: Chroma
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

整合白光干涉量測(cè)技術(shù),進(jìn)行非破壞性的光學(xué)尺寸量測(cè)。 可進(jìn)行待測(cè)物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測(cè)需求 垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用,*大量測(cè)尺寸達(dá)12吋晶圓 待測(cè)物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測(cè)與分析 提供快速自動(dòng)對(duì)焦算法與大面積接圖功能 提供腳本量測(cè)功能具備自動(dòng)量測(cè)能力 提供量測(cè)數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的存盤功能,供后續(xù)操作人員處理分析使用 本設(shè)備已通過(guò)SEMI S2認(rèn)證 可搭配EFEM


3D晶圓量測(cè)系統(tǒng)  的詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特色
  • 整合白光干涉量測(cè)技術(shù),進(jìn)行非破壞性的光學(xué)尺寸量測(cè)。
  • 可進(jìn)行待測(cè)物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測(cè)需求
  • 垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用,*大量測(cè)尺寸達(dá)12吋晶圓
  • 待測(cè)物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測(cè)與分析
  • 提供快速自動(dòng)對(duì)焦算法與大面積接圖功能
  • 提供腳本量測(cè)功能具備自動(dòng)量測(cè)能力
  • 提供量測(cè)數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的存盤功能,供后續(xù)操作人員處理分析使用
  • 本設(shè)備已通過(guò)SEMI S2認(rèn)證
  • 可搭配EFEM
Chroma 7980 3D晶圓量測(cè)系統(tǒng)主要整合白光干涉量測(cè)技術(shù),進(jìn)行非破壞性的12吋晶圓之3D關(guān)鍵尺寸量測(cè)。可進(jìn)行待測(cè)物之關(guān)鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測(cè)需求,同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái),可對(duì)樣品做自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大,適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用,待測(cè)物皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞且快速的表面形貌量測(cè)與分析,并提供快速自動(dòng)對(duì)焦演算法與大面積接圖功能以及腳本量測(cè)功能具備自動(dòng)量測(cè)能力,此外系統(tǒng)亦提供量測(cè)數(shù)據(jù)資料的存檔功能,供后續(xù)操作人員處理分析使用。
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